基于MEMS技术的微型传感器

文章摘要： 摘要：和传统的传感器相比,微型传感器具有许多新特性,它们能够弥补传统传感器的不足,具有广泛的应用前景,越来越受到重视。文中详细介绍了一些微型传感器件的结构和原理,说明了微型传感器的基本性能特点和微型传感器的发展趋势。 关键词：MEMS 技术；微型传感器；智能化；多功能化 微型传感器的特点 传统的传感器件因其制作工艺与半导体IC 工艺不兼容,所以无论在性能、尺寸和成本上都不能与通过IC 技术制作的高速度、高密度、小体积和低成本的信号处理器件相适应,于是制约了整个系统的集成化、批量化和性能的充分发挥。微型传感器不是传统传感器简单的物理缩小的产物,而是以新的工作机制和物化效应,使用标准半导体工艺

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　　摘要：和传统的传感器相比,微型传感器具有许多新特性,它们能够弥补传统传感器的不足,具有广泛的应用前景,越来越受到重视。文中详细介绍了一些微型传感器件的结构和原理,说明了微型传感器的基本性能特点和微型传感器的发展趋势。

 

　　关键词：MEMS 技术；微型传感器；智能化；多功能化

 

微型传感器的特点

 

传统的传感器件因其制作工艺与半导体IC 工艺不兼容,所以无论在性能、尺寸和成本上都不能与通过IC 技术制作的高速度、高密度、小体积和低成本的信号处理器件相适应,于是制约了整个系统的集成化、批量化和性能的充分发挥。

微型传感器不是传统传感器简单的物理缩小的产物,而是以新的工作机制和物化效应,使用标准半导体工艺兼容的材料,通过MEMS 加工技术制备的新一代传感器件,具有小型化、集成化的特点，可以极大地提高传感器性能。在信号传输前就可放大信号,从而减少干扰和传输噪音,提高信噪比;在芯片上集成反馈线路和补偿线路,可改善输出的线性度和频响特性,降低误差,提高灵敏度。

 

具有阵列性。可以在一块芯片上集成敏感元件、放大电路和补偿线路。可以把多个相同的敏感元件集成在同一芯片上；具有良好的兼容性,便于与微电子器件集成与封装。

 

利用成熟的硅微半导体工艺加工制造,可以批量生产,成本非常低廉。

 

　典型的微型传感器

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