利用湿式蚀刻工艺提高LED光萃取效率之产能与良率的方法

文章摘要：V.昇降温度之速率控制：具备外延片蚀刻前之预先加热，以及蚀刻候之冷却设计，可避免外延片因急速昇降温度所产生的热冲击破片。VI.化学品供应系统：化学液之补充体积的精确度要高。VII.外延片自动传送系统：外延片传送可保证连续顺利传送达400 Runs,以确保制造上之良率。图12、弘塑科技设计制作之高温磷酸湿式蚀刻自动化量产设备。结论本文已针对蓝宝石基板之高温磷酸湿式蚀刻工艺，以及其工艺设备在设计制作上必须考虑哪些因素，进行详细探讨。由于LED之蓝宝石基板化学湿式蚀刻工艺，可藉由基板表面几何图形之变化，来改变LED的散射机制，或将散射光导引至LED内部，进而由逃逸角锥中穿出，所以成为增加LED光萃取

利用湿式蚀刻工艺提高LED光萃取效率之产能与良率的方法,标签：显示及光电,光电显示技术,http://www.88dzw.com

　　V.昇降温度之速率控制：具备外延片蚀刻前之预先加热，以及蚀刻候之冷却设计，可避免外延片因急速昇降温度所产生的热冲击破片。

　　VI.化学品供应系统：化学液之补充体积的精确度要高。

　　VII.外延片自动传送系统：外延片传送可保证连续顺利传送达400 Runs,以确保制造上之良率。

图12、弘塑科技设计制作之高温磷酸湿式蚀刻自动化量产设备。

　　结论

　　本文已针对蓝宝石基板之高温磷酸湿式蚀刻工艺，以及其工艺设备在设计制作上必须考虑哪些因素，进行详细探讨。由于LED之蓝宝石基板化学湿式蚀刻工艺，可藉由基板表面几何图形之变化，来改变LED的散射机制，或将散射光导引至LED内部，进而由逃逸角锥中穿出，所以成为增加LED光萃取效率的有效技术。目前LED业界特别考虑到如何降低成本与增进产能，并且又要合乎环保与工业安全等需求，可以预见地具备操作自动化与工艺标准化之系统设备，将成为未来LED生产线量产之竞争主力。

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