光波导器件及集成技术

文章摘要：集成光子学（PLO）和集成光电子学（OEIC）是指将若干光子或电子器件集成在同一基片上。这些元件包括分束器、光栅、耦合器、偏振器、干涉仪、光源、探测器及其相应的驱动电路等。这些集成器件也可以做为模块应用在通信系统、CATV、仪器和传感器等的制作上。其中用于连接这些器件的光波导就像集成电路中的金属连线一样，起着举足轻重的作用。它不仅具有导波的作用，还可以对光信号进行耦合、转换、分束、复用、解复用等。对于光波导及光波导元件的理论分析论著有很多[1～3]，本章从实际应用的角度出发，仅对其基本理论要点进行简单介绍，着重对器件尤其是OEIC中最常用的SOl光波导器件的设计和制作进行较详细的分析，并揭示其

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　　集成光子学（PLO）和集成光电子学（OEIC）是指将若干光子或电子器件集成在同一基片上。这些元件包括分束器、光栅、耦合器、偏振器、干涉仪、光源、探测器及其相应的驱动电路等。这些集成器件也可以做为模块应用在通信系统、CATV、仪器和传感器等的制作上。其中用于连接这些器件的光波导就像集成电路中的金属连线一样，起着举足轻重的作用。它不仅具有导波的作用，还可以对光信号进行耦合、转换、分束、复用、解复用等。对于光波导及光波导元件的理论分析论著有很多[1～3]，本章从实际应用的角度出发，仅对其基本理论要点进行简单介绍，着重对器件尤其是OEIC中最常用的SOl光波导器件的设计和制作进行较详细的分析，并揭示其内在联系。

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