非结晶硅太阳电池概念

文章摘要：非晶硅太阳电池的制造方法制造非晶硅太阳电池的方法有多种，最常见的是辉光放电法，还有反应溅射法、化学气相沉积法、电子束蒸发法和热分解硅烷法等。辉光放电法是将一石英容器抽成真空，充入氢气或氩气稀释的硅烷，用射频电源加热，使硅烷电离，形成等离子体。由于外解沉积温度低，可在玻璃、不锈钢板、陶瓷板、柔性塑料片上沉积约1μm厚的薄膜，易于大面积化（05rn×l.0m），成本较低，多采用pin结构。为提高效率和改善稳定性，有时还制成三层Pin等多层叠层式结构，或是插入一些过渡层。非晶硅太阳电池的优势：（1）材料和制造工艺成本低。这是因为衬底材料，如玻璃、不锈钢、塑料等，价格低廉。硅薄膜仅有数千埃厚度，昂责的

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　　非晶硅太阳电池的制造方法

　　制造非晶硅太阳电池的方法有多种，最常见的是辉光放电法，还有反应溅射法、化学气相沉积法、电子束蒸发法和热分解硅烷法等。辉光放电法是将一石英容器抽成真空，充入氢气或氩气稀释的硅烷，用射频电源加热，使硅烷电离，形成等离子体。由于外解沉积温度低，可在玻璃、不锈钢板、陶瓷板、柔性塑料片上沉积约1μm厚的薄膜，易于大面积化（05rn×l.0m），成本较低，多采用pin结构。为提高效率和改善稳定性，有时还制成三层Pin等多层叠层式结构，或是插入一些过渡层。

　　非晶硅太阳电池的优势：

　　（1）材料和制造工艺成本低。这是因为衬底材料，如玻璃、不锈钢、塑料等，价格低廉。硅薄膜仅有数千埃厚度，昂责的纯硅材料用量很少。制作工艺为低温工艺（100—300℃），生产的耗电量小／能量回收时间短。

　　（2）易于形成大规模生产能力。这是因为：核心工艺适合制作持大面积无结构缺陷的a—Si合金薄膜；只需改变气相成分或者气体流量便可实现PIN结以及相应的迭层结构；生产可全流程自动化。

　　（3）品种多，用途广。薄膜的a-Si太阳电池易子实现集成化。器件功率、输出电压、输出电流都可自由设计制造，可以较方便地制作出适合不同需求的多品种产品。由于光吸收系数高，暗电导、良低，适合作制作室内用的低功耗电源，如手表电池、计算器电池等。由于a—Si膜的硅网结构力学性能结实。适合在柔性的衬底上制作轻型的大“电池”。灵活多样的制造方法，可以制造建筑集成的电池，适合户用屋顶电站的安装。

　　虽然非晶体硅太阳能电池依然面临着转化效率低、生产投资成本高等问题，但国际上都在不断深入技术研究，其发展前景还是被普遍看好。预计在上游硅材料供应紧张的情况下，到2008年非晶体硅太阳能电池的市场占有率将由目前的10％提高到20％左右。

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